高純氣體檢測(cè)色譜儀的測(cè)量方法主要基于氣相色譜技術(shù)，通過(guò)分離和檢測(cè)氣體中的各組分，實(shí)現(xiàn)對(duì)高純氣體純度和雜質(zhì)含量的精確分析。以下從測(cè)量原理、具體操作步驟、關(guān)鍵技術(shù)要點(diǎn)及注意事項(xiàng)四個(gè)方面進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明：
一、測(cè)量原理
高純氣體檢測(cè)色譜儀利用氣相色譜技術(shù)，通過(guò)載氣（如氦氣、氮?dú)獾龋怏w樣品帶入色譜柱。色譜柱中的固定相與樣品中各組分發(fā)生不同的相互作用（如吸附、溶解等），導(dǎo)致各組分在色譜柱中的保留時(shí)間不同，從而實(shí)現(xiàn)分離。分離后的組分依次進(jìn)入檢測(cè)器，檢測(cè)器將組分的濃度或質(zhì)量轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，通過(guò)記錄儀或數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)生成色譜圖。根據(jù)色譜圖的峰面積、峰高或保留時(shí)間，可以定量分析各組分的含量。
二、具體操作步驟
樣品準(zhǔn)備
取樣：使用專(zhuān)用的氣體取樣袋或不銹鋼取樣瓶，確保取樣過(guò)程中無(wú)外界污染。
預(yù)處理：對(duì)于高濕度或含顆粒物的氣體，需通過(guò)干燥器或過(guò)濾器進(jìn)行預(yù)處理，避免對(duì)色譜柱和檢測(cè)器造成損害。
儀器準(zhǔn)備
開(kāi)機(jī)預(yù)熱：按照儀器說(shuō)明書(shū)的要求，開(kāi)啟色譜儀并預(yù)熱至穩(wěn)定狀態(tài)（通常需要30分鐘以上）。
設(shè)置參數(shù)：根據(jù)待測(cè)氣體的性質(zhì)，設(shè)置合適的載氣流量、柱溫、檢測(cè)器溫度等參數(shù)。例如，對(duì)于高純氮?dú)庵械碾s質(zhì)檢測(cè)，柱溫通常設(shè)置在40-80°C，檢測(cè)器溫度設(shè)置在150-200°C。
進(jìn)樣分析
進(jìn)樣：使用六通閥或氣體進(jìn)樣器將樣品注入色譜柱。進(jìn)樣量需精確控制，避免過(guò)量導(dǎo)致峰形畸變。
數(shù)據(jù)采集：?jiǎn)?dòng)色譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，記錄色譜圖。色譜圖中的每個(gè)峰對(duì)應(yīng)一個(gè)氣體組分，峰面積或峰高與組分濃度成正比。
定量分析
標(biāo)準(zhǔn)曲線法：通過(guò)分析已知濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體，建立峰面積（或峰高）與濃度的標(biāo)準(zhǔn)曲線。然后根據(jù)待測(cè)樣品的峰面積，從標(biāo)準(zhǔn)曲線上查得其濃度。
外標(biāo)法：直接比較待測(cè)樣品與標(biāo)準(zhǔn)氣體的峰面積或峰高，計(jì)算待測(cè)組分的濃度。
三、關(guān)鍵技術(shù)要點(diǎn)
色譜柱的選擇
對(duì)于高純氣體中的微量雜質(zhì)檢測(cè)，需選擇高靈敏度、高選擇性的色譜柱。例如，分子篩色譜柱常用于分離性氣體（如O?、N?、Ar等），PorapakQ色譜柱適用于分離CO?、C?-C?烴類(lèi)等。
檢測(cè)器的選擇
熱導(dǎo)檢測(cè)器（TCD）：適用于檢測(cè)性氣體，靈敏度較高，但對(duì)某些有機(jī)物的響應(yīng)較低。
氫火焰離子化檢測(cè)器（FID）：對(duì)烴類(lèi)等有機(jī)物具有高靈敏度，但需配合甲烷化裝置才能檢測(cè)CO和CO?。
氦離子化檢測(cè)器（HID）：具有高的靈敏度（可達(dá)ppb級(jí)），適用于高純氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。
系統(tǒng)凈化
高純氣體檢測(cè)對(duì)系統(tǒng)潔凈度要求高，需使用高純載氣（如99.999%以上的氦氣或氮?dú)猓?，并定期更換進(jìn)樣口隔墊、色譜柱和檢測(cè)器密封墊，避免污染。
四、注意事項(xiàng)
避免交叉污染
在分析不同樣品時(shí)，需充分沖洗進(jìn)樣口和色譜柱，避免殘留氣體干擾后續(xù)分析。
定期校準(zhǔn)
定期使用標(biāo)準(zhǔn)氣體對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
環(huán)境控制
實(shí)驗(yàn)室環(huán)境應(yīng)保持潔凈，避免灰塵、濕度等對(duì)儀器性能的影響。
安全操作
高純氣體（如氫氣）具有易燃易爆性，操作時(shí)需嚴(yán)格遵守安全規(guī)程，避免泄漏和明火。
